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(資料圖片)

光刻是半導(dǎo)體器件制造的最核心步驟，直接決定集成電路的性能和良率。光刻機(jī)的核心工藝指標(biāo)包括：分辨率、 聚焦深度、套刻精度、曝光功率及單位時間產(chǎn)能等。主流的光刻機(jī)均采用浸沒系統(tǒng)、可編程光照、畸變修正、熱效應(yīng)修正、對準(zhǔn)與表面測量等高難度技術(shù)。 光刻設(shè)備均具有高技術(shù)附加值,毛利率超過 50%。

中國大陸以成熟制程為主的半導(dǎo)體產(chǎn)線不斷擴(kuò)產(chǎn)，產(chǎn)生了大量光刻設(shè)備的需求。2021年ASML 有高達(dá)27.4 億歐元的營收來自中國大陸（其全球第三大市場）；全球光刻設(shè)備市場規(guī)模超180億美元，顯影涂膠設(shè)備市場超 30 億美元。國產(chǎn)光刻曝光設(shè)備尚處于 實(shí)驗(yàn)階段；顯影涂膠設(shè)備已覆蓋浸沒式 ArFi 工藝節(jié)點(diǎn)，突破動能強(qiáng)勁。

光刻機(jī)的運(yùn)行需光源、照明、掩膜臺、 物鏡、工件臺等多個精密系統(tǒng)組合工作，全球光刻零件市場至少約 70 億美元 （按 50%毛利率推算）。相比其他半導(dǎo)體零件，光刻機(jī)零件單個價值量高，技術(shù)難度大。貿(mào)易限制導(dǎo)致海外供應(yīng)鏈風(fēng)險劇增，國內(nèi)光學(xué)企業(yè)成為不二之選， 技術(shù)能力與對應(yīng)產(chǎn)品的盈利能力有望加速成長。

子公司禹衡光學(xué)是國內(nèi)光柵編碼器(光刻機(jī)核心運(yùn)動平臺的關(guān)鍵元件)龍頭廠商，打破國外壟斷?？毓晒蓶|長春光機(jī)所是國內(nèi)唯一承擔(dān) EUV光刻機(jī)研發(fā)任務(wù)的研究所，已取得包括核心光源系統(tǒng)在內(nèi)的多項(xiàng)突破。

公司可為半導(dǎo)體檢測設(shè)備提供高精度鏡頭、光學(xué)系統(tǒng)，同時掌握光刻機(jī)曝光物鏡超精密光學(xué)元件加工技術(shù)，目前產(chǎn)品已用于上海微電子的光刻機(jī)中。

公司生產(chǎn)的KBBF晶體屬于激光設(shè)備的上游關(guān)鍵零部件，用于建造超高光分辨率光電子能譜儀、光刻技術(shù)等前沿領(lǐng)域。

公司通過全資子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司持有上海微電子14.21%股權(quán)。 旗下微裝公司是國內(nèi)唯一一家研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售高端光刻機(jī)的企業(yè)，也是全球第四家生產(chǎn)IC前道光刻機(jī)的企業(yè)。在先進(jìn)封裝光刻機(jī)等領(lǐng)域，其國內(nèi)市場占有率超過80%，全球市場占有率為40%。

公司為荷蘭 ASML核心供應(yīng)商A公司提供光刻機(jī)用光場勻化器和半導(dǎo)體晶圓退火核心元器件。

國望光學(xué)和科益虹源（國內(nèi)第一，世界第三。）都是亦莊旗下公司，光刻機(jī)最大的預(yù)期差就在亦莊手里，截止目前A股亦莊唯一控股的上市公司是麥克奧迪。麥克奧迪業(yè)務(wù)光學(xué)鏡頭實(shí)錘供貨光刻機(jī)。光刻機(jī)最大預(yù)期差是麥克奧迪，預(yù)期同一控制下進(jìn)行重組，國望光學(xué)和科益虹源+光刻機(jī)光學(xué)鏡頭供應(yīng)商。

公司控股子公司上海金杜新材料科技有限公司于2020年11月5日收到上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司簽署的《外協(xié)件采購?fù)ㄓ脳l款》，上海金杜正式成為上海微電子的合格供應(yīng)商。

公司向上海微電子提供了光刻機(jī)用的定位光柵產(chǎn)品，該器件是該公司光刻機(jī)產(chǎn)品的重要部件。公司長期從事激光直寫光刻機(jī)的研制，尤其在用于新一輪光子傳感器的納米光刻機(jī)研制領(lǐng)域積累了豐富且較為完善的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，可為國內(nèi)外高等院所和企業(yè)提供自主可控的直寫光刻技術(shù)和光電子材料與器件技術(shù)方案。

2021年10月26日下午，海立集團(tuán)與上海微電子裝備集團(tuán)舉行戰(zhàn)略合作協(xié)議簽約儀式。微電子裝備集團(tuán)董事長干頻指出，海立集團(tuán)在我國制冷壓縮機(jī)行業(yè)具有領(lǐng)先地位，雙方已經(jīng)形成了良好的合作基礎(chǔ)。希望雙方以封裝光刻機(jī)的冷卻系統(tǒng)配套為起點(diǎn)，進(jìn)一步提升合作能級，逐步從零部件級供應(yīng)合作提升為系統(tǒng)級供應(yīng)合作。值得注意的是海立集團(tuán)與上海微電子同屬上海電氣集團(tuán)。

公司一直為全球光刻機(jī)巨頭廠商提供透鏡系統(tǒng)MEMS部件的工藝開發(fā)與晶圓制造服務(wù)。

瑞士子公司UCMAGAG為ASML及其供應(yīng)商提供極紫外光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)關(guān)鍵部件的清洗設(shè)備。

華微電子正在加快推進(jìn)與長春光機(jī)所、華為在光刻機(jī)領(lǐng)域的合作實(shí)力與上海微還是有差距。

公司為上海微電子所需的光刻機(jī)機(jī)臺內(nèi)國際最高潔凈等級標(biāo)準(zhǔn)（ISO Class 1級）潔凈環(huán)境提供EFU（超薄型設(shè)備端自帶風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組）及ULPA（超高效過濾器）等產(chǎn)品，助力國內(nèi)光刻機(jī)事業(yè)突破卡脖子技術(shù)難題。公司從2006年至今為中芯國際多地工廠供應(yīng)風(fēng)機(jī)過濾單元、高效/超高效過濾器、化學(xué)過濾器等產(chǎn)品，用于保障中芯國際系的歷代產(chǎn)品線（包括中芯國際最先進(jìn)的14nm和28nm制程）對空氣潔凈度的要求。

公司多波段合分束器已完成產(chǎn)品開發(fā)，成功進(jìn)入半導(dǎo)體微電子設(shè)備廠供應(yīng)鏈。

$茂萊光學(xué)(SH688502)$ $福晶科技(SZ002222)$ $張江高科(SH600895)$

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搜集整理: @FinEvent 數(shù)據(jù)生成時間: 2023/08/31

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